Dépôt d'oxydes
Machine de dépôt d'oxydes sur des wafers de 2 à 18'' avec une uniformité de dépôt unique
Technologie CBVD développée avec notre partenaire 3D Oxides
Excellente uniformité sur des wafers jusqu'au Ø450 mm
Monitoring en temps réel pour le maintien des conditions idéales de croissance
Processus entièrement automatisé
Découvrez la machine Sybilla
Dépôt de couches fines d'oxydes
Socrate Industrie, en collaboration avec 3D-Oxides
Wafers jusqu'à Ø150 mm
Reflectometrie et cartographie RHEED
Application industrielle ou R&D
Uniformité de déposition remarquable
